本实用新型提出了一种用于微观原位观察 的 MEMS 加热芯片，包括：硅基衬底，依次设置于 硅基衬底上的支撑层与钝化层；设置于钝化层的 上表面的加热电极和测量电极，加热电极和测量 电极同层*缘设置且均位于钝化层上，加热电极 和测量电极围绕形成用于微观原位观察的观察区 域；贯穿设置于硅基衬底与支撑层中的隔热空 腔，隔热空腔的上表面在垂直于硅基衬底的方向 上对应观察区域。上述加热芯片通过采用钝化层

　　来保护加热电极与测量电极，使加热过程中电阻 更加稳定，温度可加热到 1000 度以上，有效隔* 气体和液体，避免电极在加热过程中挥发污染测 试的样品，使加热芯片加热温度高且加热稳定、 污染小，进而满足 SEM 或 TEM 进行微观原位观察 的测检测要求。

　　一种用于微观原位观察的 MEMS 加热芯片的权利要求说明书内容是....请下载后查看

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